Багдасарян С.А., Налимов С.А., Борисов В.В., Сушенцов Н.И. «Получение методом ВЧ-магнетронного распыления пленок нитрида алюминия для устройств на поверхностных акустических волнах» Наукоемкие технологии, 18, № 4, с. 46-53 (2017)

Исследованы состав и строение пленок AlN, выращенных при низких температурах (370–570 K) на подложках различных материалов ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишеней из Al, методами растровой электронной микроскопии, рентгеновской дифрактометрии и спектроскопии комбинационного рассеяния света. Показано, что полученные пленки AlN обладают пьезоэлектрическим эффектом. Изучено влияние строения синтезированных пленок AlN на характеристики устройств на поверхностных акустических волнах, изготовленных на их основе.