Ханбеков И.Ф., Петров В.С., Ли И.П., Полунина А.А., Локтев Д.Н. «Исследование процессов на поверхности и в объеме материалов магнетрона в условиях термического и термоакустического воздействия на его корпус при откачке воздушной атмосферы» Физика и химия обработки материалов, № 1, с. 42-49 (2020)

Представлена методика измерения относительного количества газа, удаленного из магнетрона при его откачке. Получены уравнения, описывающие три основные стадии газоотделения в процессе откачки. Разработанная методика проверена на модельных объектах и использована для определения относительного количества газа, откачиваемого на каждой стадии газоотделения из серийных магнетронов. Проанализирована эффективность откачки магнетрона при различных методах обезгаживания. Предложен способ ускорения десорбционно-диффузионных процессов при воздействии ультразвуковых колебаний на корпус магнетрона одновременно с его нагреванием во время откачки, повышающий эффективность газоотделения более чем в 2 раза.