Громов Д.Г., Козьмин А.М., Поломошнов С.А., Шулятьев А.С., Шаманаев С.В. «Оптимизация условий формирования тонких пленок ZnO для использования в интегральных МЭМС-устройствах» Нано- и микросистемная техника, № 12, с. 27-30 (2011)

Исследуемый технологический процесс формирования пленки пьезокристаллического материала на основе ZnO предназначен для создания чувствительного (сигнального) слоя в составе интегрального МЭМС-преобразователя акустического давления.