Лукьянов Д.П., Шевченко С.Ю., Филиппова Е.П., Кукаев А.С., Сафронов Д.В., Иванов А.В. «Применение кварцевого корпусирования для упаковки микромеханических акселерометров на поверхностных акустических волнах» Известия Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета "ЛЭТИ", № 4, с. 53-57 (2014)
Рассматривается применение технологии кварцевого корпусирования для улучшения характеристик микромеханических акселерометров (ММА) на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Исследуются возможности лазерной подстройки частоты ПАВ-резонатора в герметизированном устройстве и одновременного нанесения резонаторных структур на противоположные стороны консоли с помощью системы прецизионной лазерной маркировки.
Известия Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета "ЛЭТИ", № 4, с. 53-57 (2014) | Рубрики: 04.14 06.13
Лукьянов Д.П., Шевченко С.Ю., Кукаев А.С., Филиппова Е.П. «Оценка возможностей пакета OOFELIE::Multiphysics для моделирования инерциальных датчиков на поверхностных акустических волнах» Известия Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета "ЛЭТИ", № 4, с. 62-67 (2014)
Рассматривается потенциальная возможность применения программного пакета OOFELIE::Multiphysics для решения задач компьютерного моделирования в ЛЭТИ. Приводятся результаты, полученные на кафедре ЛИНС за время использования пробной версии данной системы.
Известия Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета "ЛЭТИ", № 4, с. 62-67 (2014) | Рубрики: 04.14 06.13

