Шевченко С.Ю., Лукьянов Д.П., Филиппова Е.П., Каюмов А.Р. «Разработка концепции построения твердотельного микроакселерометра на поверхностных акустических волнах» Вестник Казанского государственного технического университета им. А. Н. Туполева, № 2-1, http://www.kai.ru/vestnik/2-1_13.shtml (2013)

Представлена концепция построения микроакселерометра на поверхностных акустических волнах. Приводятся результаты моделирования с помощью метода конечных элементов воздействия ускорения на консоль чувствительного элемента (ЧЭ) микроакселерометра. Оцениваются значения напряжений и относительных удлинений консоли ЧЭ, возникающих при действии ускорения. Показываются пути оптимизации конструкции микроакселерометра. Ключевые слова: микроакселерометр, наноакселерометр, поверхностная акустическая волна, метод конечных элементов, тонкие пленки.