Анисимкин В.И., Котелянский И.М. «Пьезоэлектрические пленки для акустоэлектронных устройств: получение, свойства, области применения» Журнал технической физики, 60, № 6, с. 114-120 (1990)

Рассмотрены особенности получения пьезоэлектрических пленок ZnO, AlN и Ta₂O₅. Проведена теоретическая оценка минимально возможного коэффициента поглощения ПАВ в текстурированных пленках с учетом различных механизмов поглощения. Дано сравнение этих коэффициентов с аналогичными коэффициентами для монокристаллов тех же материалов. Предложены и экспериментально проверены методики расчета коэффициента поглощения и температурного коэффициента задержки (ТКЗ) для ПАВ Рэлея и ПАВ Сезава в слоистых структурах. Дан сравнительный анализ акустических характеристик слоистых структур на основе пленок ZnO, AlN и Ta₂O₅.