Бурбело Р.М., Гуляев А.Л., Кузьмич А.Г., Кучеров И.Я. «Исследование кремниевых структур методом совмещенной фотоакустической и фотоэлектрической микроскопии» Журнал технической физики, 66, № 4, с. 121-127 (1996)
Методом ФА микроскопии исследованы эпитаксиальные кремниевые структуры с различным типом проводимости, а также локальные области модификации поверхности кремниевых пластин в результате ионной имплантации. Показана возможность визуализации целого ряда дефектов в таких структурах, связанных как с условиями подготовки кристалла-подложки, так и с проведением технологических операций наращивания и имплантирования. Представлены результаты сравнительных исследований с использованием рентгеновских топограмм, электронной и оптической микроскопии, а также фотоэлектрической микроскопии. Приводятся сравнительные данные, позволяющие оценить чувствительность методов ФА и ФЭ микроскопии при исследовании имплантированных образцов p-кремния.
Журнал технической физики, 66, № 4, с. 121-127 (1996) | Рубрика: 06.17
Торчигин В.П. «Преобразование света в фоконе с использованием акустической волны в качестве накачки» Журнал технической физики, 66, № 4, с. 128-139 (1996)
Рассмотрено преобразование длины волны и усиление мощности светового излучения за счет энергии упругих продольных колебаний в акустической волне, возбуждаемой вдоль оси фокона, по которому распространяется азимутальная туннелирующая световая мода типа ''шепчущей галереи''. Качественно проанализировано действие физических механизмов, ответственных за усиление мощности световой волны, а затем исследована система уравнений, описывающая взаимодействие волн. Показано, что в процессе преобразования возникает эффект захвата световой волны акустической, при котором участки световой волны распространяются в среде, где в это время уменьшается показатель преломления, что приводит к увеличению несущей частоты. Определены требования к точности изготовления фокона, к частоте и мощности акустической волны.
Журнал технической физики, 66, № 4, с. 128-139 (1996) | Рубрика: 06.17

