Российский фонд
фундаментальных
исследований

Физический факультет
МГУ им. М.В.Ломоносова
 

Журнал технической физики. 1998. 68, № 2

 

Анисимкин В.И., Котелянский И.М., Верона Э. «Анализ газов и индуцируемых ими поверхностных процессов с помощью поверхностных акустических волн» Журнал технической физики, 68, № 2, с. 73-81 (1998)

Получено аналитическое выражение для величины газового "отклика" поверхностной акустической волны (ПАВ). Проведена его экспериментальная проверка. Теоретически предсказаны и экспериментально подтверждены основные особенности детектирования газов с помощью ПАВ. Проведено сравнение ПАВ датчиков газов с газочувствительными покрытиями и без них. Предложена методика определения с помощью ПАВ относительных изменений плотности Δρ/ρ и упругих модулей ΔC11/C11, ΔC44/C44 пленок при адсорбции (десорбции) газов. Показана возможность использования этой методики для анализа процессов адсорбции и десорбции. Проведено сравнение адсорбционных свойств поликристаллических, термически осажденных пленок палладия до и после их низкотемпературного отжига в вакууме, а также неотожженных пленок Pd и Pd : Ni. Обсуждены перспективы использования ПАВ для детектирования газов и изучения индуцируемых ими поверхностных процессов.

Журнал технической физики, 68, № 2, с. 73-81 (1998) | Рубрика: 06.13