Азаренков Н.А., Бизюков А.А., Гапон А.В., Денисенко И.Б. «Управление ионными потоками полями поверхностной ионно-звуковой волны [ПИЗВ]» Письма в Журнал технической физики, 24, № 3, с. 6-11 (1998)
Впервые показано, что ПИЗВ могут быть применены для полировки, травления и нанесения покрытия. Предлагаемый метод обработки поверхностей прост и удобен, так как устройство для его реализации негромоздко и может быть легко изготовлено. По сравнению с использованием обычных ионных пучков предлагаемый метод обработки поверхностей позволяет получить большие токи частиц на обрабатываемую поверхность, что должно увеличить эффективность обработки материалов. Кроме того, возбуждаемые ПИЗВ являются собственными волнами, что само по себе уменьшает энергозатраты.
Письма в Журнал технической физики, 24, № 3, с. 6-11 (1998) | Рубрика: 06.13