Парчинский П.Б., Власов С.И., Муминов Р.А., Исмаилов Х.Х., Тургунов У.Т. «Влияние ультразвука на параметры структур металл–диэлектрик–полупроводник» Письма в Журнал технической физики, 26, № 10, с. 40-45 (2000)

Приводятся результаты исследования влияния ультразвукового (УЗ) воздействия на структуры типа металл–окисел–полупроводник (МОП-структуры), предварительно облученные γ-квантами. Показано, что УЗ воздействие ведет к уменьшению радиационно-индуцированного заряда в диэлектрике исследуемых структур. Рассмотрен механизм УЗ стимулированной диффузии радиационных дефектов в поле упругих напряжений в слое диоксида кримния, приводящий к наблюдаемым эффектам.