Тригуб В.И., Плотнов А.В. «Изменение молекулярной структуры резиста на основе метилметакрилата и метакриловой кислоты при модификации ультразвуком» Письма в Журнал технической физики, 28, № 11, с. 8-10 (2002)

Приведены результаты экспериментальных исследований резиста на основе сополимера метилметакрилата с метакриловой кислотой, модифицированного ультразвуком мощностью 300 W/m² с частотой 21 kHz. На основе результатов УФ- и ИК-спектроскопии показано, что ультразвуковая модификация резиста способствует образованию двойных связей C=O и повышению чувствительности в области 260/360 nm.