Российский фонд
фундаментальных
исследований

Физический факультет
МГУ им. М.В.Ломоносова
 

Физика твердого тела. 1994. 36, № 2

 

Анисимкин В.И., Котелянский И.М., Верарди П., Верона Э. «Определение упругих свойств тонких пленок и их изменений с помощью поверхностных акустических волн (ПАВ)» Физика твердого тела, 36, № 2, с. 428-435 (1994)

Предложена методика определения с помощью ПАВ плотности, упругих моделей и их изменений при адсорбции молекул газа пленкой. Методика основана на сравнении экспериментально измеренных и аналитически рассчитанных значений групповой скорости и относительных изменений фазовой скорости волны для слоистых структур с исследуемой пленкой и подложками из различных материалов. Методика опробована на примере водородочувствительных пленок палладия. Проведено сравнение упругих свойств палладия в виде тонкой пленки, объемного поликристалла и монокристалла.

Физика твердого тела, 36, № 2, с. 428-435 (1994) | Рубрика: 06.13