Бобринецкий И.И., Лаврентьев К.К., Мезенцева М.В., Неволин В.К., Руссу Л.И., Суетина И.А., Царик К.А. «Технологические аспекты создания AlN биологических сенсоров на поверхностных акустических волнах» Биомедицинская радиоэлектроника, № 1, с. 58-64 (2015)

Приведены результаты разработки сенсоров на поверхностно-акустических волнах (ПАВ) в эпитаксиальных пленках AlN. Рабочая частота структур составила 95,5 МГц. Продемонстрирована работоспособность и селективность сенсорных структур в жидкостных средах различного состава. Обнаруженная чувствительность изменения фазы ПАВ составляет 6° при изменении концентрации сахарозы в растворе на 5%. Проведено культивирование клеток фибробластов эмбриона человека на сформированных сенсорных структурах в AlN-пленках. Продемонстрирована нетоксичность эпитаксиальной нитридной сенсорной структуры, что может быть использовано при построении биологических ПАВ-сенсоров, в частности, при исследовании метаболизма одиночных живых клеток.