Левицкий М.Е., Бочкарев Н.Н., Соковиков В.Г. «Акустическая эмиссия при сублимации микронного слоя нитрида галлия под воздействием излучения KrF-лазера» Известия РАН. Серия физическая, 79, № 2, с. 270-274 (2015)
Исследована эффективность абляции слоя нитрида галлия при воздействии через слой сапфира импульсами KrF-лазера. Полученные зависимости эволюции акустической эмиссии при изменении плотности энергии лазерных импульсов имеют пороговый характер, что позволяет контролировать эффективность абляции и следить за качеством кристаллов нитрида галлия, отделяемых от сапфировой подложки.
Известия РАН. Серия физическая, 79, № 2, с. 270-274 (2015) | Рубрика: 06.17