Шерстов И.В., Капитанов В.А., Агеев Б.Г., Карапузиков А.И., Пономарев Ю.Н. «Лазерный оптико-акустический течеискатель» Оптика атмосферы и океана, 17, № 2-3, с. 119-123 (2004)
Для контроля герметичности вакуумных объемов предложено использовать оптико-акустический (ОА) течеискатель на базе простого СО2-лазера. Представлены результаты экспериментальных исследований детектирования привнесенных примесей SF6 в слабых газовых потоках ОА-детектором с дифференциальным резонатором Гельмгольца. Исследовано влияние скорости прокачки газовой пробы через детектор. Оценка минимального значения надежно регистрируемого потока лазерным ОА-газоанализатором составила ∼1·10–9 Па·м3/с, что сравнимо с чувствительностью серийного гелиевого течеискателя.
Оптика атмосферы и океана, 17, № 2-3, с. 119-123 (2004) | Рубрика: 06.17
