Веселов А.Г., Джумалиев А.С. «Синтез пленок оксида цинка с прямой и наклонной текстурой в неоднородной газоразрядной плазме» Журнал технической физики, 70, № 4, с. 118-122 (2000)

Представлены результаты роста пленок оксида цинка с нормальной и наклонной текстурой на протяженных аморфных подложках. Показана возможность формирования требуемой текстуры путем управления потоками заряженных частиц при сохранении положения подложки в плоскости параллельной мишени в планарной магнетронной распылительной системе на постоянном токе в смеси аргона и кислорода. Исследование текстуры пленок проводилось методом рентгеновской дифракции и методом возбуждения продольных и сдвиговых объемных акустических волн.