Российский фонд
фундаментальных
исследований

Физический факультет
МГУ им. М.В.Ломоносова
 

Письма в Журнал технической физики. 2012. 38, № 15

 

Боритко С.В. «О возможности непосредственного определения упругих постоянных тонких пленок в направлении, поперечном к плоскости пленки» Письма в Журнал технической физики, 38, № 15, с. 34-39 (2012)

Приводится описание возможности определения величины упругих постоянных тонких пленок, нанесенных на свободный торец звукопровода, в поперечном к плоскости пленки направлении. В основе предлагаемой методики лежит измерение изменения частот собственных колебаний составного акустического резонатора, содержащего звукопровод и электроакустический преобразователь объемных акустических волн, при его нагрузке тонкопленочным покрытием. Приводятся результаты экпериментальной проверки предложенной методики для тонкой (3.25 μm) пленки каучука марки ДСТ-30, нанесенной на свободный торец резонатора из плавленого кварца с рабочим диапазоном 80–150 MHz. Показано, что эластичность пленки дивинил-стирольного каучука вдоль и поперек ее плоскости различаются почти на четыре порядка.

Письма в Журнал технической физики, 38, № 15, с. 34-39 (2012) | Рубрика: 04.14