Бодрунов С.Д., Захаревич А.П., Богословский С.В., Новиков В.В., Сапожников Г.А. «Сравнительный анализ микромеханических гироскопов и гироскопов на поверхностных акустических волнах» Датчики и системы, № 10, с. 57-60 (2006)

За последнее десятилетие во многих странах мира проводились и продолжают развиваться работы по микро электромеханическим системам. К настоящему моменту создан мир кремниевой микромеханики с использованием двух основных технологий: поверхностной и объемной.