Все выпуски |
2016 №3 |
Источники | Материалы 15 Международной научно-технической конференции "Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)" и 22 Международного симпозиума "Тонкие пленки в электронике", Москва, 9–11 сент., 2009. М.: Центральный научно-исследовательский технологический ин-т "Техномаш". 2009. 536 с.
Материалы 15 Международной научно-технической конференции "Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)" и 22 Международного симпозиума "Тонкие пленки в электронике", Москва, 9–11 сент., 2009 (2009). 536 с.
Материалы 15 Международной научно-технической конференции "Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)" и 22 Международного симпозиума "Тонкие пленки в электронике", Москва, 9–11 сент., 2009 (2009). 536 с. | Рубрики: 02 04 06
