Чесноков В.В., Чесноков Д.В., Райхерт В.А. «Акустооптические тонкопленочные устройства на изгибных упругих волнах» Нано- и микросистемная техника, 18, № 2, с. 91-96 (2016)

Представлены результаты исследования возбуждения, распространения и взаимодействия с оптическим излучением изгибных упругих волн с частотой 640 кГц в мембранных тонкопленочных структурах толщиной порядка микрометра. Показано, что использование таких волн для обработки информации в устройствах типа МОЭМС позволяет, в сравнении с использованием поверхностных волн, уменьшить массогабаритные характеристики и существенно снизить потребление устройств.