Российский фонд
фундаментальных
исследований

Физический факультет
МГУ им. М.В.Ломоносова
 

Радиотехника и электроника. 2001. 46, № 12

 

Алексеев С.Г., Котелянский И.М., Мансфельд Г.Д. «Акустическая резонаторная сверхвысокочастотная спектроскопия тонких пластин лангатата и пленок вольфрама» Радиотехника и электроника, 46, № 12, с. 1507 (2001)

Предложен и развит оригинальный метод акустической резонаторной сверхвысокочастотной спектроскопии тонких слоев (пленок), основанный на измерении и обработке массива экспериментальных данных спектра составного акустического сверхвысокочастотного резонатора, в состав которого входит исследуемый слой. Метод применен для изучения поглощения в монокристаллических тонких слоях лангатата и тонких пленках вольфрама.

Радиотехника и электроника, 46, № 12, с. 1507 (2001) | Рубрика: 06.22