Анцев И.Г., Сапожников Г.А., Богословский С.В. «Чувствительный элемент датчика давления на поверхностных акустических волнах» Вопросы радиоэлектроники, № 1, с. 93-97 (2018)

Одним из самых востребованных датчиков является датчик давления жидкости и газа. В пассивных беспроводных датчиках на поверхностных акустических волнах (ПАВ), как правило, используются резонаторные схемы. Широкое применение резонаторов для измерения давления определяется малыми габаритами резонаторов и, соответственно, возможностью выбора на мембране участка с малой неравномерностью параметров (в первую очередь скорости распространения ПАВ). Чувствительные элементы на основе линий задержки на ПАВ имеют большие линейные размеры, чем датчики с использованием резонаторов. Однако линии задержки менее чувствительны к неравномерности распределения скорости ПАВ вдоль акустического пути, а для достижения больших дальностей в условиях практического применения со значительным количеством паразитных эхосигналов необходимо обеспечить значительную (до 4 мкс) задержку информационного отклика датчика. Предложена новая конструкция датчиков давления, реализующая зеркальную топологию чувствительного элемента. Применение линий задержки позволяет создавать пассивные устройства, работающие на больших дальностях. Предлагаемое решение расширяет область применения зеркальных топологий для измерений давления.