Толипов Х.Б. «Измерение толщины тонких плёнок с использованием гармонических антисимметричных волн Лэмба» Измерительная техника, № 6, с. 70-72 (2018)

Предложен метод измерения толщины тонких плёнок в микрометровом диапазоне с использованием акустических волн. Метод основан на нелинейной зависимости антисимметричных гармонических волн Лэмба от толщины зондируемого материала. Рассмотрены погрешности измерений толщины тонких плёнок с применением бесконтактного электромагнитоакустического преобразователя акустической волны.