Григорьев Д.М., Годовицын И.В., Амеличев В.В., Ильков А.В. «Исследование влияния параметров акустического отверстия на амплитудно-частотную характеристику МЭМС-микрофона» Нано- и микросистемная техника, 20, № 8, с. 491-497 (2018)

Параметры акустического отверстия существенно влияют на характеристики МЭМС-микрофона, в частности на амплитудно-частотную характеристику (АЧХ). Ввиду сложности конструкции корпуса для расчета АЧХ МЭМС-микрофона необходимо использовать конечно-элементное моделирование. В работе представлены результаты моделирования АЧХ МЭМС-микрофона с помощью структурно-акустического гармонического анализа в программе ANSYS. Исследовано влияние положения и формы акустических отверстий на АЧХ МЭМС-микрофона. Представлен анализ полученных результатов.