Морозов В.А., Зегря А.Г., Зегря Г.Г., Савенков Г.Г. «Пьезоэлектрические свойства пористого кремния» Письма в ЖЭТФ, 114, № 10, с. 680-684 (2021)

На основании теоретического анализа и прямых экспериментов с образцами на основе пористого кремния n- и p-типа установлено, что пористый кремний, в связи с понижением симметрии кристаллической решетки, становится пьезоэлектриком. Показано, что оба типа (n- и p-) пористого кремния обладают пьезоэлектрическими свойствами; при этом пьезоэлектрические свойства пористого кремния n-типа, в 2.5 слабее пьезоэлектрических свойств пористого кремния p-типа, при одной и той же степени пористости. Это объясняется тем, что при одной и той же степени пористости, поры в кремнии p-типа более широкие и ровные при удалении от поверхности вглубь материала, а в пористом кремнии n-типа более узкие и извилистые.