Алексеев С.Г., Лузанов В.А., Ползикова Н.И. «Исследование пространственного распределения пьезоэлектрических свойств пленки ZnO методом акустической резонаторной спектроскопии» Радиотехника и электроника, 65, № 11, с. 1131-1136 (2020)

С помощью метода широкополосной акустической резонаторной спектроскопии обнаружено, что изменение расстояния от подложки до оси магнетрона при нанесении пленки ZnO методом магнетронного распыления приводит к почти двукратному увеличению частоты оптимального возбуждения составного СВЧ-резонатора сдвиговых объемных акустических волн. Проведено моделирование частотных характеристик резонаторной структуры и предложено объяснение изменения частоты оптимального возбуждения неоднородностью наклона оси текстуры пленки ZnO по толщине.