Койгеров А.С., Корляков А.В. «Моделирование методом конечных элементов устройств на поверхностных акустических волнах с использованием пакета COMSOL» Микроэлектроника, 51, № 4, с. 272-282 (2022)

Представлены результаты исследования и анализа волновых акустических процессов в пьезоэлектрических подложках на основе решения волновых уравнений пьезоакустики методом конечных элементов. Приведено описание тестовых структур и алгоритма работы в среде COMSOL Multiphysics. Рассмотрены три основных подхода: в области собственных частот, в заданном частотном диапазоне и во временной области. Проведен анализ свойств и параметров, широко применяемых поверхностных акустических волн. Представлена визуализация ряда характеристик. Рассчитаны фазовая скорость волны и коэффициент электромеханической связи. Показано, что данные, полученные в результате численного анализа, соответствуют данным из известных источников. Выполнено сопоставление результатов расчета и экспериментальных измерений коэффициента передачи на примере линии задержки и резонаторного фильтра.