Российский фонд
фундаментальных
исследований

Физический факультет
МГУ им. М.В.Ломоносова
 

T

Tendler M.

 

Аскинази Л.Г., Вильджюнас М.И., Жубр Н.А., Комаров А.Д., Корнев В.А., Крикунов С.В., Крупник Л.И., Лебедев С.В., Рождественский В.В., Tendler М., Тукачинский А.С., Хребтов С.М. «Эволюция колебаний геодезической акустической моды в разряде с омическим переходом в режим хорошего удержания в токамаке ТУМАН-3М» Письма в Журнал технической физики, 38, № 6, с. 22-28 (2012)

Проведено формирование эпитаксиальных структур GaN методом латерального эпитаксиального разращивания, при котором GaN выращивается в полосковых окнах на частично маскированном исходном слое GaN. Установлено, что, помимо традиционной ориентации полосков поперек оси c GaN, данный процесс возможен при ориентации полосков под углом 45° к оси c. В этом случае возможно проведение двух процессов латерального разращивания во взаимно перпендикулярных направлениях, что существенно снижает относительную площадь несовершенного материала, формирующегося над окнами в маске.

Письма в Журнал технической физики, 38, № 6, с. 22-28 (2012) | Рубрика: 06.08