Комоцкий В.А., Соколов Ю.М., Басистый Е.В. «Метод измерения глубины периодических рельефных отражателей поверхностных акустических волн лазерным зондированием» Радиотехника и электроника, 56, № 2, с. 243-248 (2011)

Предложен и исследован оптический метод измерения глубины периодических рельефных структур, применяемых в качестве отражателей поверхностных акустических волн. Метод основан на дифракции лазерного пучка на системе отражательных элементов поверхностных акустических волн. Дано теоретическое обоснование методики измерений, и приведены экспериментальные результаты.