Анисимкин В.И. «Оптимизация интегральной решетки акустоэлектронных газовых датчиков» Радиотехника и электроника, 60, № 9, с. 985-991 (2015)
Проведен расчет ориентационных зависимостей (анизотропии) поверхностных акустических волн (ПАВ) в наиболее распространенных срезах пьезоэлектрических монокристаллов кварца, ниобата и танталата лития, германата и силиката висмута. Определены материал, кристаллографическая ориентация и совокупность направлений распространения ПАВ, находящихся в рамках одной плоскости, которые обеспечивают наиболее высокое различие газовых “откликов” волн по этим направлениям. На основе полученных данных изготовлен и испытан макет сенсорной решетки, объединяющей в рамках одной подложки до пяти акустоэлектронных датчиков.
Радиотехника и электроника, 60, № 9, с. 985-991 (2015) | Рубрики: 06.13 06.14