Лукьянов Д.П., Тихонов А.А., Филатов Ю.В., Поваляев А.Г., Шевченко С.Ю., Попова И.В., Лестев А.М., Лестев М.А., Новиков В.В., Вершинин М.С., Шевелько М.М. «Разработка и оптимизация схемы построения микроакселерометра на поверхностных акустических волнах. Часть 1» Гироскопия и навигация, № 2, с. 79-94 (2005)

Приводятся результаты разработки и оптимизации микроакселерометра на поверхностных акустических волнах. Построена его математическая модель, выполнены аналитические расчеты и конечно-элементный анализ напряженно-деформированного состояния чувствительного элемента в целях оценки характера распределения поверхностных деформаций и выбора оптимальной формы консоли. Оценены основные технические характеристики микромеханического акселерометра. Рассмотрены возможности технологической подстройки его параметров и микрокорпусирования.