Михайлов В.П., Базиненков А.М., Казаков А.В., Щербакова В.С. «Активные виброзащитные системы» Нано- и микросистемная техника, 27, № 6, с. 293-301 (2026)

Проведен обзор устройств активной виброизоляции нанотехнологического оборудования, основанных на различных принципах работы, даны их сравнительные параметры: диапазоны рабочих частот, коэффициенты передачи амплитуды виброперемещений, амплитудно-частотные характеристики и др. Подробно описаны устройства для активной виброизоляции на основе магнитореологических и диэлектрических эластомеров, представлены перспективные разработки таких систем и их параметры.

Годовицын И.В., Генералов С.С., Поломошнов С.А., Никифоров С.В., Амеличев В.В. «Использование ребер жесткости в целях уменьшения деформации мембраны МЭМС-преобразователя акустического давления» Нано- и микросистемная техника, 27, № 6, с. 308-314 (2026)

Рассмотрены конструктивные и технологические аспекты формирования мембраны МЭМС-преобразователя акустического давления, закрепленной на зигзаобразных подвесах и имеющей ребра жесткости. Ребра жесткости существенно увеличивают изгибную жесткость мембраны и, соответственно, уменьшают ее изгиб вследствие градиента внутренних напряжений. Современные процессы микрообработки кремния дают возможность простой интеграции цикла формирования ребер жесткости в технологию МЭМС-преобразователя акустического давления. Использование ребер жесткости позволяет улучшить контроль геометрических параметров МЭМС-преобразователя акустического давления и, как следствие, повысить воспроизводимость его электрических характеристик.